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腐食性ガス中連続水分分析計 TMAシリーズ

製品説明

TMAシリーズ水分分析計は、不活性ガス中の水分計測に加え、これまで計測が難しかった腐食性ガスの水分濃度をppm単位で測定することを可能にしました。測定可能ガスは広範囲にわたります。主なものは以下の通りです。

Cl2, HCl, H2S, H2SO4, HBr, SO2, SF6, CO2, PH3, Xe, Ar, N2, H2, O2, O3, He,C2H2, CH4, D2, F2, F6, Freon, Kr, 天然ガス

一方、アンモニア・リン酸に反応するガスは使用不可能です。ご使用のガスの詳細については弊社までご相談下さい。

本体
本体は3.5桁LCDによるppm表示に加え、露点の同時表示が可能です。
また センサーの自動校正、測定レンジアラーム設定、データーロギング設定(オプション)等、全ての設定を本体前面から行う事が可能です。
本体背部にはアナログ出力(0/4-20mA、 0-10V)、無電圧リレー接点を標準で装備しており、オプションにより接点数の追加、RS-232接続が可能です。
ユーザー様の設置環境により、デスクトップ型、19”ラックマウント型、 ポータブル型から選定可能です。

センサ-
センサーは本体と別置型になっておりますので、設置が容易です。センサー部を測定ラインに設置し、本体にケーブルを接続すれば測定開始です。
特に腐食性ガスにおいては材質の選定が重要です。ユーザー様の用途、測定ガスの種類、水分濃度により、複数の材質オプションを用意しております。
これらのオプションの中から、ユーザー様の用途に合ったセンサーを選定させて頂きます。

筐体
SUS316(TMS SS)
Monell 400 (TMS-M)
Hastelloy (TMS-H)
ガラス(TMS-G) 他

電 極 白金またはロジウム
0リング バイトン またはPTFE

主な用途

  • 腐食性ガス製造工程
  • 半導体産業における腐食性ガス純度の管理
  • 塩素乾燥装置
  • 冷媒中の水分管理
  • 医庫用酸素ガス中の水分管理
  • ポリエチレン製造工程
  • 熱処理炉中の水分管理
  • 溶接工程におけるAr He中水分管理
  • Co2乾燥、ドライアイス製造工程