特徴
- 測定範囲:-80~+20 °Cdp
- 精度:±2°Cdp(環境温度25°Cにおいて)
- 自動校正（ケミカルパージ機能）中も測定継続
- SUS筐体の高応答速センサー
- ppm出力可能
主な用途
- ドライエアー露点管理
- 工業炉内の水分管理
- 電池製造・ドライルーム・半導体製造装置
- 電子部品の低湿度環境
- 医薬品製造・乾燥、コーティングの品質管理、充填、包装
POINT
-80℃dpまで対応する極低露点測定
TE-860は、最低ー80℃dpまでの極低露点を高精度に測定します。わずかな湿度変化が製品品質やプロセスの安定性に影響する、電池製造や乾燥工程などの厳しい低湿度環境に適しています。
自動校正中も測定値を出力
4つの静電容量式センサ素子を組み合わせた独自の「E+E Quattro Sensor」技術を採用。自動校正中も測定値の出力が停止することなく、露点の変化を継続的に監視できるため、プロセスの変化や異常を見逃しにくくします。
急激な露点変化にも対応する安定した測定
急激な負荷変動や一時的な結露が発生する環境にも対応する堅牢な設計を採用。高い再現性と長期安定性により、低露点環境における安定したプロセス監視を実現します。
