工業ガス

工業ガス(窒素・酸素・アルゴン・水素等)の露点・酸素濃度計測

深冷分離プラントにおける窒素・酸素・アルゴンをはじめとし、水素やそのほか様々なガスが工業生産されています。工業ガスの純度管理には、多くの場合露点(水分量)、酸素濃度を不純物として測定し、ガス純度を決定します。通常はPPMレベルでの管理(露点で言えば-70 ℃DPなど)ですが、高純度ガスの場合PPBでの管理を行います。
露点測定の場合、簡易的に静電容量式露点計で計測することが一般的ですが、精度を要する場合は鏡面冷却式(ミラー式)露点計が、腐食性ガスの場合腐食性ガス中水分計が使用されます。酸素濃度測定の場合、ガスによりジルコニア式・ガルバニ電池式酸素濃度計が使用されます。

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