特徴
- 優れた長期安定性により稼働率向上
- 大型の19 mm四重極質量フィルター
- スペクトル干渉を高精度に除去
- 高速応答性能
- 最大100%濃度までの成分分析
- 最適化されたメンテナンスで校正頻度の低減
主な用途
- 電子ガスの製造
- 精製装置（ガスピュリファイア）の性能確認▪検証
- 半導体プロセスガスの監視
POINT
微量大気圧イオン化質量分析計
VeraSpec APIMSは、応答性、感度性、操作性を追求した大気圧イオン化（API）質量分析計です。半導体をはじめとするハイテク産業で使用される超高純度（UHP）ガスの汚染管理を目的として、ppt レベルの低濃度不純物を高い信頼性と再現性で検出できるよう設計されています。[聡石1.1]大気圧イオン化（API）は、UHPサンプル中の微量ガスを極めて高感度に検出できるイオン化技術です。窒素、アルゴン、ヘリウム、酸素、水素の供給の流れを継続的に監視し、pptレベルからパーセントレベルまでの汚染を迅速に報告します。APIMSの革新的な設計により、安定性、柔軟な運用性、使いやすさを実現します。
Questor5プロセス制御ソフトウェアが付属
・ボタンひとつで分析、検証、校正が可能
・マルチポイント校正、検証、分析装置の性能セルフチェックを自動化
・1、2、4サンプルセレクターオプションあり
・レポート生成機能内蔵
・データタグとアラームの設定が可能
・外部デバイス制御トリガー対応
・ネットワーク接続対応
超微量分析技術
コロナ放電針を用いてバルクガス試料の分子をイオン化させます。これらのイオンは、イオン化ポテンシャルが低い汚染分子へ容易に電荷を移動させます。この手法により100％に近いイオン化効率が得られ、非常に優れた検出限界が保証されます。
APIは高いイオン電流を可能にし、低い検出限界をもたらしますが、この技術はバルクガスのイオン化エネルギーよりも低いイオン化エネルギーを持つ物質、または十分なプロトン親和性を持つ成分に限定されます。VeraSpec APIMSシステムはEIとAPIの両イオン化源を組み合わせています。二つのイオン化技術を備えることで、純粋なガス試料中の全成分を一台の分析装置で完全に分析することが可能となります。
